La tomographie acoustique à balayage (SAT) est un outil précieux dans l'industrie des semi-conducteurs pour les essais non destructifs et l'évaluation des matériaux et dispositifs semi-conducteurs. Cette technologie utilise des ondes sonores pour créer des images haute résolution des structures internes, des défauts et des propriétés du matériau, fournissant des informations critiques pour le contrôle qualité, l'optimisation des processus et l'analyse des pannes.
Tomographie acoustique à balayage (SAT)Fonctionne en transmettant des impulsions ultrasoniques dans le matériau testé et en mesurant le temps nécessaire au retour des échos. Ces données sont ensuite utilisées pour construire une image tridimensionnelle de la structure interne, permettant aux analystes de visualiser et d'évaluer la qualité du matériau.
Avant d'effectuer SAT, il est essentiel de préparer correctement l'échantillon semi-conducteur. Cela comprend le nettoyage de la surface pour éliminer tous les contaminants qui pourraient interférer avec les ondes sonores et s'assurer que l'échantillon est correctement positionné pour la numérisation.
Pendant le balayage, l'échantillon est placé sur une scène qui peut se déplacer dans plusieurs directions, permettant au transducteur ultrasonique de balayer toute la surface. Le transducteur émet des ondes ultrasonores, qui pénètrent dans le matériau et sont réfléchies par des structures internes et des défauts. Les ondes réfléchies sont ensuite détectées par le transducteur et utilisées pour créer une image de la structure interne.
Une fois l'analyse terminée, les données sont traitées à l'aide d'un logiciel spécialisé pour reconstruire une image détaillée de la structure interne. Cette image peut révéler des défauts tels que des vides, des fissures et des défauts de délaminations, ainsi que fournir des informations sur les propriétés du matériau telles que la densité et l'élasticité.
La dernière étape de l'utilisation de SAT dans l'industrie des semi-conducteurs est d'analyser et d'interpréter les images produites. Cela peut impliquer l'identification et la quantification des défauts, l'évaluation des propriétés du matériau et la corrélation des résultats avec d'autres résultats de tests pour obtenir une compréhension complète de la qualité et des caractéristiques de l'échantillon.
En conclusion, la tomographie acoustique à balayage est un outil puissant pour les essais non destructifs dans l'industrie des semi-conducteurs, fournissant des informations précieuses sur la structure interne et les propriétés des matériaux et dispositifs semi-conducteurs. En suivant les procédures appropriées pour la préparation des échantillons, la numérisation et l'analyse des images, SAT peut aider les fabricants de semi-conducteurs à améliorer la qualité des produits, à optimiser les processus de fabrication et à réduire le risque de défauts et de pannes.
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