Application des composants de quartz de précision dans les semi-conducteurs

Dans l'industrie des semi-conducteurs, le quartz est largement utilisé. Et les produits de quartz de haute pureté sont des consommables importants dans la production de plaquettes. La principale application des composants de quartz dans le domaine des semi-conducteurs est le processus de diffusion et de gravure dans la fonderie de plaquettes, qui peut être divisée en dispositifs de zone à haute température et dispositifs de zone à basse température. Les principaux appareils qui seront utilisés sont les suivants:

① Les dispositifs dans la zone à haute température sont principalement des tubes de four, des bateaux en verre, etc. utilisés dans l'oxydation par diffusion et d'autres procédés. Ils doivent être en contact direct ou indirect avec des plaquettes de silicium dans un environnement à haute température. Après l'achat de matériaux en verre de silice fondu, ces dispositifs seront produits par traitement thermique.

Lors du contrôle de la contrainte résiduelle interne du tube de silice fondue dans la figure ci-dessous, il est recommandé d'utiliser un manuel quantitatifPolariscope en verre(Modèle AUCUN PSV-413). Vous pouvez voir intuitivement et clairement où la contrainte est concentrée et mesurer la valeur de retard optique causée par l'existence de stress. Sur la figure 1, la contrainte est concentrée en position bleue. Lorsque nous passons à la méthode de mesure quantitative (méthode senarmont), la zone bleue de la figure 1 transforme la zone blanche de la figure 2. Lorsque nous tournons lentement l'échelle sur l'analyseur supérieur, la couleur de la zone blanche de la figure 2 s'assombrira progressivement jusqu'à ce qu'elle se transforme en zone brun foncé de la figure 3.

Figure 1

Figure 2

Figure 3

② Les dispositifs dans la zone à basse température sont principalement des anneaux de quartz dans le processus de gravure, et des paniers de fleurs et des réservoirs de nettoyage pendant le processus de nettoyage. Après l'achat de verre de quartz raffiné au gaz, ces appareils sont produits par traitement à froid. Le réservoir de nettoyage de quartz dans l'image ci-dessous est fait par tir à la main. Lors du contrôle de sa contrainte résiduelle interne, il est recommandé d'utiliser un polariscope portatif agrandi (modèle NO PSV-202-DL).